1、器壁材料有气孔、夹渣、裂纹。轧制材料出现这种缺陷的可能性小，而铸件易引起这种缺陷。
2、焊接、封接时有缺陷。原因是焊接时操作不慎，焊接工艺选择不当，焊缝设计不合理，焊接顺序选择不当，焊接操作不方便等因素，均会引起焊缝漏气。
3、零件在冷加工中出现裂纹。如弯管时不小心会产生裂纹；焊后加工的法兰，易引起法兰与管道间焊缝产生裂纹。
4、零件受冷、热冲击或机械冲击后，焊缝产生裂纹。
5、在焊接应力作用下使焊缝产生裂纹。
6、密封面加工粗糙、有划痕、有油污、氧化皮等；密封圈有划伤，压缩量不够，均会引起漏气。
7、法兰变形，或压的不平，螺栓没上紧均能引起漏气。真空管道上往往安装有许多法兰、阀门，连接部位是易漏点。
