美国JPSA公司LED垂直刻蚀技术获韩专利 2022-09-16 雷射系统产品供货商JPSA公司日前表示,其LED晶圆的雷射垂直刻蚀技术已获韩国专利,可在韩国应用。 JPSA公司藉由提高IX-200紫外二极管泵浦固体(DPSS UV)激...